这些年,光刻技术进展也很快,一路从g-le(436n)、i-le(365n),走到了krf(248n),分辨率也一路上升。
只是目前卡在了130n制程上,它需要更高的分辨率。传统汞灯(i-le,365n)和krf准分子激光(248n)的分辨率怎么也达不到这个标准。
国际上比较知名的光刻机厂商,像日本的尼康、佳能还有荷兰的asl等,都将目光投向了更短的193n波长(arf准分子激光)。
王潇摇头:“不,我们要做193n的波长,不过不做干式的,直接做浸润式的。”
她解释了一句,“我们再追下去没意思,跟着人家屁股后面,越追越远,不如弯道超车。”
郑老先生意味深长道:“那这一枪打出去,可未必有鸟。”
跟着人家屁股后面搞研发,看上去好像有点上不了台面,但实际上这是效率最高,成功概率也最高的研究方式。
因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了,不用你把精力浪费在已经失败的道路上。
王潇也明白第一个吃螃蟹的人,往往不是行业巨佬。研发经费过高,对企业经营来说,风险也随之增高。
赌错了,就是万劫不复。
她点点头:“先打一枪试试看。”
郑老先生没有再劝她三思而后行,而是放下了手上的资料,分析她要面临的问题:“那你这就是两步走。”
他在桌上放了两片蚕豆壳,然后指着左边的蚕豆格示意:“首先是单纯的193n的机器,要有稳定的193narf准分子激光器,来解决了激光功率低、寿命短的问题。”
他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。
“你还得有高纯度的熔融石英透镜,要保证折射率在193n波段的稳定性,来确保成像精度。光刻胶也得更新换代,灵敏度要提升,才能满足193n曝光需求。”
他伸手点了点左边的三片蚕豆壳,“等到这一代的机器做出来以后——”
他将手转移到了右边,“后续才是193n的浸润机。”
黄副市长听的真着急,因为哪怕他是门外汉,他也知道193n的干式机,对国内目前的水平来讲,属于妥妥的可望不可即的高度。
所以他脱口而出:“不能在248n的基础上直接做吗?”
郑老先生微微笑,未置可否,只问王潇:“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗?”
“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。
果不其然,郑老先生再度开启了慢条斯理模式:“理论角度上来讲,用去离子水做这个介质,折射后的波长应该会比193n短。”
不等黄副市长精神振奋,他又剥开了一颗蚕豆,继续往桌上摆蚕豆壳,“这样,我们首先要解决第一个问题。”
“248n光源需使用氟化钙(caf)透镜,caf与水接触时可能发生水解反应,导致透镜表面损伤,这样,我们需要额外设计防腐蚀涂层。”
众人先傻眼了,面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。
然而郑老先生还没结束他的连环击,再度放下一片蚕豆壳,“248n光刻胶,聚对羟基苯乙烯,phs,在浸润环境中,可能因水的渗透导致图案变形。这个问题,也要想办法解决。”
众人感觉眼前一黑接一黑,本来他们觉得复杂问题可以简单化的。
结果叫郑老这么一分析,反而简单问题复杂化了。
郑老先生慢慢嚼着蚕豆,然后咽下肚子,才意味深长道:“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机,就好像到了温度花才会开,它还需要执行力。这二者缺一不可。否则,再伟大的技术,它也落不了地。”
餐桌上陷入了沉默,只江水拍击着船发出的声响,透过窗户,传进包厢。
一并而来的,只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头,像母兽一样,舔舐着每个人的焦灼。
岸上灯光点点,小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声,让包厢里的沉寂愈发郁郁。
最后还是郑老先生打破的沉默,他发出了一声叹息:“而且248n的光刻机,我们也造不出来啊。”
“krf准分子激光器,需高纯度氟化氪气体和精密放电技术,我们国内的工业体系根本就没有这个基础。”
“纳米级对准精度和稳定性,都需要超精密制造能力,我们同样也没有这个技术。”
他拿手绢擦自己的手,再一次叹息,“高数值孔径(na)的投影物镜,德国蔡司要是能出口给我们的话,倒是不用我们再从头做起了。”
五月底的江风,像是把黄浦江深处的凉意都给卷出来了,热情过度地往人身上扑,扑的人心里拔凉拔凉。
郑老先生将手绢放回自己的口袋,声音在江风中微微发颤:“工业的累积就是这个样子,想走捷径,跳过任何一个环节,几乎都不可能。”
这一顿江上的晚饭,吃的痛快还是不痛快,实在太难评。
你要说不痛快吧,桌上的面和菜都光盘了,可见大家吃的都挺麻溜。
但你要说痛快吧,上船的时候大家还言笑晏晏,个个信心十足。
结果等到了下船,所有人都沉默寡言,空气里只有江水的拍击声,和船上的录音机发出的歌声:“浪奔,浪流,万里涛涛江水永不休……”
人的烦恼啊,就跟江水一样,好像永远不会有停下来的时候。
小孩子在江滩上放会发光的风筝——现在的玩具真是一天一新鲜,风筝缠上了树枝,他急得哭。
家里的大人一边骂,一边上树去给他捡风筝。
唉,他们也想被骂两句,只要能解决他们的问题就好。
沉默的人下了沉默的船,走上沉默的江滩,然后又进了沉默的轿车。
轿车发出的声响,也好象沉重不堪的叹息。
因为它的核心技术,国产仍然实现不了。